国科院的研究人员已经在大型教室里面等候多时了,议论纷纷的声音随着屏幕亮起变得鸦雀无声。
江辽的面容也出现在屏幕上,望着这间只在报道里面看到过的教室,江辽显得很是好奇。
“以后,你也可以换个地方来教他们。”
看出了江辽的好奇和羡慕,王岳山笑呵呵说了一句。
这也从侧面证明,江辽脑子里面的知识,已经能够让他成为国科院的一名授课院士了。
“我可以开始了吗?”
重重点头以后,江辽问了一句。
“随时可以。”
王岳山退到后面坐下,手中也拿出了一个平板,准备记录江辽所说的数据。
有关于光刻机的技术突破,从此刻起正式开始。
针对于不同的人,江辽也有着不同的讲解方法,直接从如何视线双图形曝光技术开始说起。
能够进入国科院的研究员都不是凡辈,但当江辽说到一半的时候,还是有不少人纷纷举起手提出了疑问。
“这个问题实际上只是进入了误区,要跳出这个误区。”
“液体沉浸技术的确是一直以来沿用的方法,可在我看来这个是完全可以被更好方法所替代的。”
“干式光刻就可以做到这一点,调整两片球面透镜像之间的差值。做到这一点,仅仅只需要使用双腔结构便可以轻易做到。当然其中的参数计算,就必须要用到这样一个数据了……”
面对这些问题,江辽没有任何慌乱,反而很是轻松就给出了作答。
王岳山一边听着江辽授课,一边默默点头。
从这一点就可以看得出来,江辽已经将这些东西给吃透了,所以才能够做到这样从善如流的回答。
不过这孩子还真是一个天才,竟然能够想得出用干式光刻来代替液体沉浸,真是一个大胆而富有创意的想法啊。
“原来是这样!可行度真的好高啊。”
“参数我已经进行计算了,完全可以代入并且让调整差值,同时其效率也高于液体沉浸。”
“我现在已经迫不及待想要去实验室试一试了。”
留出时间给他们消化,江辽喝了口水也没有闲着,而是拿出了演算纸继续着昨天的计算。
见到江辽眉头紧锁的模样,王岳山也凑了过来。
扫了一眼数据,王岳山眉头也皱起。
“小江,你还想要进一步提升?”
王岳山一眼就知道自己想要干什么,江辽很是惊讶,随后点点头。
“是的王老,我认为还有可以提升的空间。您看,如果在使用多棱镜的过程当中,将极紫外光源发射装置的参数进行更加细致调整,就像是……”
说到这里的江辽,发现光是说可能显得有些浅薄以后,起身便走到了实验室里面的简易机紫外光源发射装置位置,开始上手调整参数。穿书吧
之前的参数的确可以实现光刻机自由,但这样的光刻机并不是完美的,还有很大可以提升的空间。
“您看。若是将参数上调一个百分比,所发射出来的极致外光源进入多棱镜以后,将会发生散射。而这个时候为多棱镜加装扩散器,便能够将光学扩束提升到45倍,但这样的话k1值将会略微上升一些,这个时候我们便可加入一个装置。”
“光束聚拢?”
看到江辽拿出来的简陋装置,王岳山神情变得更加复杂了。
困扰了国科院那么多年的问题,竟然是在这间无比简陋的实验室完成的技术突破。
要是装置在精细一些的话,那江辽完全可以做到更高的技术突破。
“是的!只需要在扩散器的汇拢位置,将散射光源进行一个汇聚,便可以做到……”
“咔嚓。”
没等江辽说完,光束聚拢装置边出现了裂痕,随后汇聚的光源也变得不稳定,k1值急速飙升。
看到这一幕的江辽不由挠了挠头,低头望着演算纸。
“不应该啊,参数都是没有问题的,光束聚拢装置有问题吗?”
喃喃自语的江辽,埋头又开始苦算。
从没有接触过更精细装置的江辽,此刻也陷入了一个误区当中。
“小江,可能不是数据的问题,而是装置。”
捡起破损的光束聚拢装置看了一眼,王岳山有些哭笑不得。
这样的透镜怎么可能承受得住汇聚起来的极紫外光源,甚至于那个外光源发射装置都极其不稳定,能够成功一次实验结果,都是运气使然了。
“这里的装置,理论上是能够承受得住这个数据的。”
“但结果表示是不可以的。我看过那些数据了,没有多大的问题,只是你需要一批更好的实验装置。”
之前还在议论的国科院研究员,从江辽和王岳山开始交流的时候就安静了下来,疯狂开始记录两人对话内容。
虽然内容让他们一头雾水,完全听不懂他们在说什么,但这并不影响他们对于知识的渴望。
先记下来,回去在一步步进行演算,迟早能够弄明白这些数据代表着什么。
“可是……”
听到需要更好的实验装置,江辽想说这里就只有这些装置了。
没等江辽说完,王伟就敲了敲门。
一批全新的实验装置,正在被小心翼翼运送进来。
王伟本来想要帮帮忙的,却被国科院的工作人员直接拒绝了。
无奈之下,王伟只能摊着手站到墙边,以免碰到那些实验装置。要是不小心碰坏了,他的这点工资可赔不起。
“现在,可以试一试了。”
微笑着看着江辽,王岳山很是期待江辽能够将干式光刻技术提升到何种地步。
现在的干式光刻已经能够碾压米国技术了,要是能够进一步提升,那么夏国在国际上,将不再依附于米国的光刻技术,并且还能够反过来给米国上嘴脸。
这才是国科院存在的意义,提升自我,打脸压制米国。
“好。”
全新的实验装置让江辽显得有些爱不释手,翻动着使用手册开始进行学习。
“江老师,我可以辅助你吗?”
这些运送实验装置的工作人员,实际上也是国科院的研究人员,此时见到江辽有些生疏的模样,立马主动请缨。
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